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Zirconium-oxo clusters for high-resolution lithography: Influence of the organic-ligand coordination mode

锆配体（生物化学）平版印刷术材料科学模式（计算机接口）分辨率（逻辑）纳米技术光电子学化学计算机科学冶金人工智能生物化学受体操作系统

作者

Min Zhang,Daohan Wang,Zijian Chen,Xiao‐Feng Gong,Jun Zhao,Pengzhong Chen,Xiaojun Peng

出处

期刊：CCS Chemistry [Chinese Chemical Society]
日期：2025-04-11 卷期号：: 1-29 被引量：2

标识

DOI：10.31635/ccschem.025.202505425

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