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Effect of heater structure on oxygen concentration in large diameter n-type Czochralski silicon study using numerical simulation

材料科学硅氧气极限氧浓度直拉法计算机模拟光电子学工程类化学模拟有机化学

作者

Liang Zhao,Tai Li,Zhenling Huang,Xiang Zhou,Jiaming Kang,Wenhui Ma,Shaoyuan Li,Guoqiang Lv,Yongsheng Ren

出处

期刊：Applied Thermal Engineering [Elsevier BV]
日期：2024-09-06 卷期号：257: 124334-124334 被引量：2

标识

DOI：10.1016/j.applthermaleng.2024.124334

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