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Studies on high quality GaN/AlN deposited on glass substrates by radio-frequency reactive sputtering

溅射材料科学无线电频率质量（理念）光电子学薄膜纳米技术物理计算机科学电信量子力学

作者

Wei‐Sheng Liu,Sui-Hua Wu,G. Balaji,Licheng Huang,Chung-Kai Chi,Kuo‐Jui Hu,Hsing‐Chun Kuo

出处

期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2024-10-16 卷期号：130 (11) 被引量：1

标识

DOI：10.1007/s00339-024-07960-3

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