Morphology evolution and non-uniformity removal mechanism analysis of diamond nanocone arrays by reactive ion etching

微观结构 钻石 材料科学 蚀刻(微加工) 反应离子刻蚀 电场 复合材料 纳米技术 物理 量子力学 图层(电子)
作者
Shuo Sun,Feng Xu,Shengji Zhou,Xianqing Shi,Yuan Liu,Dunwen Zuo
出处
期刊:Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
卷期号:145: 111153-111153 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.diamond.2024.111153
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