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Modifying single-crystal silicon and trimming silicon microring devices by femtosecond laser irradiation

飞秒 材料科学 硅 光学 激光器 光电子学 辐照 修边 物理 计算机科学 核物理学 操作系统
作者
Jia Du,Lei Zhou,Wei Xu,Yuanan Zhao,Maohui Chen,Boyu Zhang,Weibiao Chen
出处
期刊：Optics Express [The Optical Society]
日期：2024-04-03
链接
doi.orgdoi.org
标识
DOI：10.1364/oe.514535
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