SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Modeling edge placement error performance of EUV and DSA multipatterning processes
极紫外光刻
GSM演进的增强数据速率
计算机科学
材料科学
光电子学
人工智能
作者
Chris A. Mack,
Gurpreet Singh,
Florian Gstrein
标识
DOI：10.1117/12.3011711
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
2025年影响因子查询已上线
(2025-6-18)
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
小蘑菇
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
刚刚
搜集达人
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
Akim
的
应助
被
WGQ
采纳，获得
10
1秒前
开心的芒果
的
应助
被
tjyiia
采纳，获得
30
1秒前
可爱的函函
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
上官若男
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
李爱国
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
等风来
完成签到，获得积分
10
1秒前
研友_VZG7GZ
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
浮游
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
英姑
的
应助
被
今天
采纳，获得
30
2秒前
华仔
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
2秒前
科研通管家
关闭了
哈伊呀
的
文献求助
2秒前
laodie
发布了新的
文献求助
30
2秒前
CipherSage
的
应助
被
jay_zs
采纳，获得
10
2秒前
科研通管家
关闭了
厚朴
的
文献求助
2秒前
哈伊呀
发布了新的
文献求助
30
2秒前
Dr.Sun
完成签到，获得积分
10
2秒前
菜鸡5号
完成签到，获得积分
10
3秒前
JamesPei
上传了
应助文件
3秒前
Owen
的
应助
被
沉香
采纳，获得
10
4秒前
领导范儿
上传了
应助文件
4秒前
极辰
发布了新的
文献求助
10
4秒前
顾矜
上传了
应助文件
5秒前
Akim
上传了
应助文件
6秒前
刘恩瑜
完成签到
，获得积分
10
6秒前
ding
上传了
应助文件
6秒前
神勇草莓
发布了新的
文献求助
10
6秒前
量子星尘
发布了新的
文献求助
10
7秒前
研友_VZG7GZ
上传了
应助文件
7秒前
xxx
发布了新的
文献求助
30
7秒前
小马甲
上传了
应助文件
7秒前
左耳钉
上传了
应助文件
7秒前
慕青
上传了
应助文件
8秒前
等风来
发布了新的
文献求助
10
8秒前
啥时候吃火锅
完成签到
，获得积分
0
9秒前
科研通AI6
上传了
应助文件
9秒前
Oasis
发布了新的
文献求助
10
9秒前
略略略
完成签到，获得积分
10
9秒前
XUANZHEXIA
完成签到，获得积分
10
10秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
The Social Work Ethics Casebook: Cases and Commentary (revised 2nd ed.).. Frederic G. Reamer
1070
按地区划分的1,091个公共养老金档案列表
801
Work, Vacation and Well-being
500
A Guide to Genetic Counseling, 3rd Edition
500
Synthesis and properties of compounds of the type A (III) B2 (VI) X4 (VI), A (III) B4 (V) X7 (VI), and A3 (III) B4 (V) X9 (VI)
500
Rural Geographies People, Place and the Countryside
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
工程类
有机化学
生物化学
物理
纳米技术
计算机科学
内科学
化学工程
复合材料
物理化学
基因
遗传学
催化作用
冶金
量子力学
光电子学
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
5411660
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
4529156
关于积分的说明
14118010
捐赠科研通
4443774
什么是DOI，文献DOI怎么找？
2438394
邀请新用户注册赠送积分活动
1430680
关于科研通互助平台的介绍
1408214
今日热心研友
浮游
1340
9390
无极微光
208
2620
看不了一点文献
200
1510
Zx_1993
156
1805
chenqiumu
72
2455
早操后开始
193
1090
bmhs2017
175
960
avalanche
42
2090
彭于彦祖
47
2030
小杭76
141
850
zcl
42
1820
凤凰
49
1740
Criminology34
107
990
Shmilykk
1770
TYMY
63
920
寻道图强
46
1070
GingerF
1460
小青椒
1410
殷勤的紫槐
1000
遇上就这样吧
1000
kentonchow
965
何贺
96
pluto
92
ceeray23
850
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
浮游
无极微光
看不了一点文献
Zx_1993
chenqiumu
早操后开始
bmhs2017
avalanche
彭于彦祖
小杭76
zcl
凤凰
Criminology34
Shmilykk
TYMY
寻道图强
GingerF
小青椒
殷勤的紫槐
遇上就这样吧
kentonchow
何贺
pluto
ceeray23
皖公网安备34019202002308
