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Etching of silicon carbide by chlorine

碳化硅硅氯蚀刻（微加工）分析化学（期刊）螺旋钻碳纤维化学分解碳化物材料科学原子物理学有机化学复合材料物理复合数图层（电子）

作者

M. Balooch,D.R. Olander

出处

期刊：Surface Science [Elsevier BV]
日期：1992-01-01 卷期号：261 (1-3): 321-334 被引量：22

标识

DOI：10.1016/0039-6028(92)90243-y

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