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High flowability monomer resists for thermal nanoimprint lithography
作者
Karla Perez‐Toralla,
J. de Girolamo,
Delphine Truffier‐Boutry,
C. Gourgon,
M. Zelsmann
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2009-01-18
卷期号：86 (4-6): 779-782
被引量：7
链接
hal.science
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.mee.2009.01.014
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