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Realization of a micro pressure sensor with high sensitivity and overload by introducing beams and Islands

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作者
Zhongliang Yu,Yulong Zhao,Lili Li,Cun Li,Yan Liu,Bian Tian
出处
期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Science+Business Media]
日期：2014-06-19 卷期号：21 (4): 739-747 被引量：52
标识
DOI：10.1007/s00542-014-2234-4
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