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A low noise capacitive MEMS accelerometer with anti-spring structure

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作者
Hongcai Zhang,Xueyong Wei,Yanyu Ding,Zhuangde Jiang,Juan Ren
出处
期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2019-06-28 卷期号：296: 79-86 被引量：72
标识
DOI：10.1016/j.sna.2019.06.051
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