薄脆饼
纳米光刻
膜
材料科学
纳米技术
生物传感器
光电子学
纳米结构
晶圆规模集成
极化（电化学）
制作
化学
物理化学
病理
医学
生物化学
替代医学
作者
Ming Lun Tseng,Aleksandrs Leitis,Aurelian John‐Herpin,Yuri S. Kivshar,Hatice Altug
出处
期刊：Conference on Lasers and Electro-Optics
日期：2022-01-01
卷期号：8: FM4F.5-FM4F.5
标识
DOI：10.1364/cleo_qels.2022.fm4f.5
摘要
We demonstrate free-standing metasurfaces made by a new wafer-scale and CMOS compatible nanofabrication method and produce nanostructures over large-area transparent oxide membranes. Applications include narrow-band spectral filtering, efficient light focusing, polarization control and optofluidic biosensors.
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