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Highlighting the role of 3C–SiC in the performance optimization of (Al,Ga)N‒based High‒Electron mobility transistors

材料科学光电子学基质（水族馆）碳化硅掺杂剂图层（电子）晶体管成核硅高电子迁移率晶体管电子迁移率扫描电子显微镜纳米技术兴奋剂复合材料电气工程电压有机化学化学工程类地质学海洋学

作者

Micka Bah,Daniel Alquier,Marie Lesecq,N. Defrance,Damien Valente,Thi Huong Ngo,Éric Frayssinet,Marc Portail,Jean-Claude de Jaeger,Y. Cordier

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2023-11-22 卷期号：171: 107977-107977 被引量：2

链接

hal.sciencedoi.org

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2023.107977

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