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Nucleation of Dislocations from Scratches on the Surface of PVT-Grown 4H-SiC Wafers

薄脆饼 成核 固体物理学 材料科学 曲面（拓扑） 结晶学 纳米技术 凝聚态物理 化学 几何学 物理 数学 有机化学
作者
Shanshan Hu,Zeyu Chen,Qianyu Cheng,Balaji Raghothamachar,Michael Dudley
出处
期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2025-01-27
标识
DOI：10.1007/s11664-025-11743-8
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