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Influence of crystal orientation and incident plane on n-type 4H-SiC wafer slicing by using picosecond laser

切片 薄脆饼 材料科学 方向（向量空间） 激光器 光学 皮秒 光电子学 平面（几何） Crystal（编程语言） 计算机科学 几何学 物理 计算机图形学（图像） 数学 程序设计语言
作者
Yongping Yao,Chen Qiu,Boyuan Li,Jianfei Zhang,Rongkun Wang,Meng Bai,Runze Liang,Longnan Ma,Tiejun Ma,Jiayu Zhang,Jinbao Xia,Hongkun Nie,Baitao Zhang
出处
期刊：Optics and Laser Technology [Elsevier BV]
日期：2024-11-24 卷期号：182: 112174-112174 被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.optlastec.2024.112174
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