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Nanometer Layers and Structures in Silicon Electronics
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作者
V. P. Popov,
V. A. Antonov,
Mikhail S. Tarkov,
A. V. Myakon’kikh,
K. V. Rudenko
出处
期刊：
Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing
[Pleiades Publishing]
日期：2024-08-01
卷期号：60 (4): 495-504
标识
DOI：10.3103/s8756699024700572
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