Electron-Beam Crystallization of Thin Films of Amorphous Silicon Suboxide

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作者
Е. А. Баранов,В. О. Константинов,В. Г. Щукин,A. O. Zamchiy,I. E. Merkulova,N. A. Lunev,В. А. Володин
出处
期刊:Technical Physics Letters [Pleiades Publishing]
卷期号:47 (3): 263-265 被引量:4
标识
DOI:10.1134/s1063785021030172
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