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Atomic Layer Deposition of Silica and Group IV Metal Oxides Nanolaminates

材料科学 硅醇 无水的 铪 图层（电子） 基质（水族馆） 锆 沉积（地质） 立方氧化锆 金属 锡 原子层沉积 化学工程 复合材料 冶金 有机化学 化学 催化作用 古生物学 陶瓷 工程类 地质学 海洋学 生物 沉积物
作者
Lijuan Zhong,Fang Chen,Stephen A. Campbell,Wayne L. Gladfelter
出处
期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：2003-01-01 卷期号：786
标识
DOI：10.1557/proc-786-e6.24
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