Investigation of the growth of nickel oxide films using atomic layer deposition of NiCp2 and O3 for electrochromic applications

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作者
Ilya Ezhov,Ivan Gorbov,Pavel Vishniakov,Vladislav Chernyavsky,Denis Olkhovskii,Denis Nazarov,Lev Markov,Irina Smirnova,Rajesh Kumar,Maxim Maximov
出处
期刊:Vacuum [Elsevier BV]
卷期号:242: 114774-114774 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2025.114774
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