Effect of annealing protection atmosphere on the ferroelectric yttrium doped hafnium oxide thin films

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作者
Jingjing Wang,Dayu Zhou,Wei Dong,Yifan Yao,Nana Sun,Faizan Ali,Xiaoduo Hou,Feng Liu
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier]
卷期号:46 (14): 22550-22556 被引量:9
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2020.06.015

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