Network structure of a-SiO:H layers fabricated by plasma-enhanced chemical vapor deposition: Comparison with a-SiC:H layers

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作者
Masanori Sato,Sean W. King,W. A. Lanford,Patrick Henry,Takemasa Fujiseki,Hiroyuki Fujiwara
出处
期刊:Journal of Non-crystalline Solids [Elsevier BV]
卷期号:440: 49-58 被引量:13
标识
DOI:10.1016/j.jnoncrysol.2016.03.004
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