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Improvement in photomask critical dimension uniformity using etch selectivity control

光掩模 临界尺寸 选择性 维数（图论） 材料科学 纳米技术 计算机科学 化学 光学 数学 物理 有机化学 催化作用 图层（电子） 抵抗 纯数学
作者
Changhoon Oh,Minwook Kang,Jae W. Hahn
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2015-10-24 卷期号：123: 76-81 被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2015.10.018
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