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A Selective BP/Si Contact Formed by Low-Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

材料科学硅原子层沉积图层（电子）等离子体沉积（地质）硼光电子学纳米技术化学沉积物量子力学生物物理古生物学有机化学

作者

А.С. Гудовских,D. A. Kudryashov,A I Baranov,A V Uvarov,I. A. Morozov

出处

期刊：Technical Physics Letters [Pleiades Publishing]
日期：2021-01-01 卷期号：47 (1): 96-98 被引量：6

标识

DOI：10.1134/s1063785021010211

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