Thermal stability issue of ultrathin Ti-based silicide for its application in prospective DRAM peripheral 3D FinFET transistors

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作者
Yaodong Liu,Jing Xu,Jianfeng Gao,Jinbiao Liu,Dan Zhang,Xuebing Zhou,Xianglie Sun,Yongliang Li,Junfeng Li,Chao Zhao,Wenwu Wang,Dapeng Chen,Tianchun Ye,Jun Luo
出处
期刊:Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
卷期号:32 (19): 24107-24114 被引量:11
标识
DOI:10.1007/s10854-021-06874-7

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