Thermal stability issue of ultrathin Ti-based silicide for its application in prospective DRAM peripheral 3D FinFET transistors

材料科学 硅化物 德拉姆 退火(玻璃) 热稳定性 晶体管 光电子学 透射电子显微镜 电阻率和电导率 接触电阻 薄板电阻 合金 衍射 杀盐剂 纳米技术 冶金 化学工程 电气工程 光学 图层(电子) 电压 工程类 物理
作者
Yaodong Liu,Jing Xu,Jianfeng Gao,Jinbiao Liu,Dan Zhang,Xuebing Zhou,Xianglie Sun,Yongliang Li,Junfeng Li,Chao Zhao,Wenwu Wang,Dapeng Chen,Tianchun Ye,Jun Luo
出处
期刊:Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
卷期号:32 (19): 24107-24114 被引量:8
标识
DOI:10.1007/s10854-021-06874-7
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