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材料科学光电子学钝化氧化铟锡二极管蚀刻（微加工）氮化镓电流密度铟电极薄脆饼电压宽禁带半导体镓亮度发光二极管氮化物氧化物堆栈（抽象数据类型）铟镓氮化物锡电流（流体）功率（物理）低压光刻功率密度

作者

Chunhang Yang,Guanghua Wang,S Y Sun,Sibo Gao,Guoru Gou,Feng Deng,Shuxiong Gao,Zhening Zhang,Haolin Gu,Jinhong Hou,S X,Liangfei Duan

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2026-08-24 卷期号：216: 111103-111103

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2026.111103

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