High-Resolution Uncooled Infrared Sensors: Innovations In 3d Mems Technology For Military Use

微电子机械系统 红外线的 遥感 高分辨率 材料科学 计算机科学 光电子学 光学 地质学 物理
作者
Han Chung,Myung-Ho Kwon,Sang-Gu Kang
标识
DOI:10.1109/mems61431.2025.10918090
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