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The fabrication of ultra-wide bandgap GeO2 thin films by DC magnetron sputtering: The impacts of growth temperature and post-annealing process

材料科学 带隙 光电子学 退火（玻璃） 溅射沉积 四方晶系 蓝宝石 薄膜 半导体 溅射 制作 光学 纳米技术 相（物质） 激光器 化学 病理 复合材料 有机化学 物理 替代医学 医学
作者
Chengming Wei,Jia Liu,Xinru Lan,Yang Cheng,Shuiping Huang,Xu Wang,Da Chen
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2024-04-20 卷期号：225: 113233-113233 被引量：8
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2024.113233
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