Atomic-level contact formation between LiNbO3 and Si wafers via surface-activated bonding at room temperature

作者
Seigo Murakami,Ryo Takigawa
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier]
卷期号:717: 164850-164850
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2025.164850

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