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Plasma etching resistance and mechanical properties of polymorph Gd2O3-MgO nanocomposite with Zr phase stabilizer incorporation

纳米复合材料 材料科学 稳定器（航空） 相（物质） 蚀刻（微加工） 化学工程 复合材料 化学 有机化学 机械工程 图层（电子） 工程类
作者
Su Been Ham,Y.T. Shin,Seonghyun Kim,Ha‐Neul Kim,Mi‐Ju Kim,Jae‐Woong Ko,Jae‐Wook Lee,Young‐Jo Park,Jung‐Hyung Kim,Hyo‐Chang Lee,Seog-Young Yoon,Ho Jin
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2024-08-03 卷期号：672: 160890-160890
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2024.160890
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