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Characterization of structural and mechanical properties of DLC films deposited on the surface of minute-scale 3D objects: Changes in the incident behavior of carbon ions

材料科学 纳米压痕 沟槽 类金刚石碳 无定形碳 复合材料 拉曼光谱 半最大全宽 微观结构 碳纤维 沉积（地质） 无定形固体 碳膜 薄膜 纳米技术 光学 光电子学 结晶学 化学 复合数 古生物学 物理 生物 沉积物 图层（电子）
作者
Yuto Tameno,Yuki Hirata,Takumi Ishikawa,Hiroki Akasaka,Naoto Ohtake,Hiroshige MATSUOKA
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier]
日期：2024-08-01 卷期号：490: 131193-131193 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2024.131193
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