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Optoelectronic properties of CuO deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition

原子层沉积 等离子体 图层（电子） 沉积（地质） 材料科学 光电子学 化学 纳米技术 物理 沉积物 量子力学 生物 古生物学
作者
Anne Haggrén,Gabriel Bartholazzi,Lachlan J. Watson,Daniel Macdonald,Kylie Catchpole,Lachlan E. Black
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2025-01-25 卷期号：234: 114075-114075 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2025.114075
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