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DC bias enhanced heteroepitaxial nucleation of (100) diamond on Ir(100)/a−sapphire by 915 MHz microwave plasma chemical vapor deposition
作者
Yonhua Tzeng,
Jian-Wei Tsai,
I-Chung Chiu,
Chia‐Che Ho
出处
期刊:
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期:2025-12-09
卷期号:833: 140839-140839
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2025.140839
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