DC bias enhanced heteroepitaxial nucleation of (100) diamond on Ir(100)/a−sapphire by 915 MHz microwave plasma chemical vapor deposition

作者
Yonhua Tzeng,Jian-Wei Tsai,I-Chung Chiu,Chia‐Che Ho
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:833: 140839-140839
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2025.140839
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