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A comprehensive review on the fabrication of glass microstructures via wet bulk micromachining in HF-based etchants with different masks
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作者
Robbi Vivek Vardhan,
Vishal Sahu,
Priyanka Dewangan,
Yogesh Kumar Srivastava,
Prem Pal
出处
期刊：
Sensors and Actuators A-physical
[Elsevier BV]
日期：2025-10-25
卷期号：396: 117194-117194
被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.sna.2025.117194
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