IMPHEAT-II, a novel high temperature ion implanter for mass production of SiC power devices

材料科学 吞吐量 薄脆饼 离子注入 光电子学 工程物理 功率(物理) 可靠性(半导体) 离子束 电气工程 计算机科学 离子 梁(结构) 工程类 电信 物理 量子力学 无线 土木工程
作者
Yusuke Kuwata,Shiro Shiojiri,Akihito Nakanishi,Shinsuke Inoue,Masakazu Adachi,Yuya Hirai,Koyu Ueno,Jian Wang,Nobuhiro Uji,Hideo Nagamori,Johnny Masa,Hiroshi Shirakawa,Kensuke Yuasa,Yosuke Nakazawa,Ryosuke Goto,S. K. Hahto,George Sacco,Shigehisa Tamura,Koichi Orihira,Masatoshi Onoda,Yoshinobu Hayashi,Takashi Shimoyama,Wei‐Jiang Zhao
出处
期刊:MRS Advances [Springer Nature]
卷期号:7 (36): 1486-1489 被引量:2
标识
DOI:10.1557/s43580-022-00428-7
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