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作者
D. Häußler,
Erdmann Spiecker,
W. Jäger,
M. Störmer,
R. Bormann,
C. Michaelsen,
J. Wiesmann,
G. Zwicker,
Rabah Benbalagh,
Jean‐Marc André,
Philippe Jonnard
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2006-11-14
卷期号：84 (3): 454-459
被引量：10
链接
fraunhofer.de
fraunhofer.de
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.mee.2006.10.060
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