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A novel Deal–Grove‐inspired model for fluorine‐based plasma jet etching of borosilicate crown optical glass

氟材料科学等离子体蚀刻（微加工）硼硅酸盐玻璃激光器等离子体刻蚀

作者

Faezeh Kazemi,Georg Boehm,Thomas Arnold

出处

期刊：Plasma Processes and Polymers [Wiley]
日期：2021-03-01 卷期号：18 (3): 2000218- 被引量：1

链接

wiley.comdoi.org

标识

DOI：10.1002/ppap.202000218

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