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Step and Stamp Imprint Lithography

作者
Jouni Ahopelto,Tomi Haatainen
出处
期刊：Nanostructure science and technology [Springer Nature]
日期：2003-01-01 卷期号：: 103-115 被引量：5
标识
DOI：10.1007/978-1-4419-9204-8_6
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