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Changes of Carrier Density and Mobility in ALD-ZnO Thin Films after Nitrogen-ion Implantation

材料科学载流子密度氮气光电子学薄膜离子离子注入纳米技术兴奋剂化学有机化学

作者

H. S. Kim,D. H. Lee,S. J. Noh

出处

期刊：Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
日期：2011-04-15 卷期号：58 (4): 761-764 被引量：2

标识

DOI：10.3938/jkps.58.761

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