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A comparison of mechanical lapping versus chemical-assisted mechanical polishing and planarization of chemical vapor deposited (CVD) diamond

化学机械平面化研磨抛光钻石材料科学泥浆磨料化学气相沉积冶金复合材料纳米技术

作者

C.D. Ollison,W.D. Brown,Ajay P. Malshe,Hameed A. Naseem,Simon S. Ang

出处

期刊：Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
日期：1999-06-01 卷期号：8 (6): 1083-1090 被引量：43

标识

DOI：10.1016/s0925-9635(99)00091-6

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