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Silicon carbide Schottky and ohmic contact process dependence

欧姆接触肖特基二极管肖特基势垒退火（玻璃）金属半导体结材料科学碳化硅光电子学碳化物二极管冶金复合材料图层（电子）

作者

M. Bădilă,Gheorghe Brezeanu,José del R. Millán,Philippe Godignon,V. Banu

出处

期刊：Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
日期：2002-03-01 卷期号：11 (3-6): 1258-1262 被引量：14

标识

DOI：10.1016/s0925-9635(01)00711-7

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