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作者
M. Zhezhu,
А. Н. Васильев,
M. N. Yapryntsev,
E. Ghalumyan,
Davit Ghazaryan,
H. Gharagulyan
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2025-07-15
卷期号：199: 109863-109863
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2025.109863
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