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Highly reproducible van der Waals integration of two-dimensional electronics on the wafer scale

范德瓦尔斯力 材料科学 纳米技术 光电子学 晶体管 光刻 电压 电气工程 化学 工程类 有机化学 分子
作者
Xiangdong Yang,Jia Li,Rong Song,Bei Zhao,Jingmei Tang,Lingan Kong,Hao Huang,Zhengwei Zhang,Lei Liao,Yuan Liu,Xiangfeng Duan,Xidong Duan
出处
期刊：Nature Nanotechnology [Springer Nature]
日期：2023-03-20 卷期号：18 (5): 471-478 被引量：25
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1038/s41565-023-01342-1
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