Effect of Deposition Technique of SiNx Passivation Layer on the Electrical DC and RF Properties of AlGaN/GaN HEMTs

钝化 材料科学 高电子迁移率晶体管 光电子学 外延 等离子体增强化学气相沉积 图层(电子) 化学气相沉积 晶体管 氮化镓 纳米技术 电气工程 电压 工程类
作者
Yağmur Güler,Barış Onaylı,Mehmet Taha Haliloğlu,Doğan Yılmaz,T. Asar,Ekmel Özbay
出处
期刊:Transactions on Electrical and Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
卷期号:25 (2): 180-186
标识
DOI:10.1007/s42341-023-00492-2
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