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材料科学 接触电阻 摩擦学 半导体器件制造 抛光 涂层 半导体 接触面积 工艺优化 机械工程 复合材料 纳米技术 光电子学 工程类 薄脆饼 图层(电子) 环境工程
作者
Tae-Hyeong Kim,Jae‐Hyuk Jang,Hae‐Jin Kim,Dae‐Eun Kim
出处
期刊:International Journal of Precision Engineering and Manufacturing [Springer Science+Business Media]
标识
DOI:10.1007/s12541-024-01195-1
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