Spectroscopy of highly charged ions for extreme ultraviolet lithography

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作者
G. O’Sullivan,Padraig Dunne,Takeshi Higashiguchi,D. Kos,Oisín Maguire,Takanori Miyazaki,Fergal O’Reilly,John Sheil,Emma Sokell,Deirdre Kilbane
出处
期刊:Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier BV]
卷期号:408: 3-8 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.nimb.2017.03.114
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