SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
Study on optimizing c-axis oriented AlN thin film for piezoelectric sensing applications controlling the sputtering process parameters
材料科学
压电
溅射
溅射沉积
薄膜
基质（水族馆）
氮化物
氮化铝
铝
光电子学
沉积（地质）
Crystal（编程语言）
单晶
复合材料
图层（电子）
纳米技术
结晶学
计算机科学
化学
古生物学
海洋学
沉积物
地质学
生物
程序设计语言
作者
M. Vanamoorthy,
Bindu Salim,
Kallol Mohanta
出处
期刊：
Applied Physics A
[Springer Science+Business Media]
日期：2021-12-17
卷期号：128 (1)
被引量：9
标识
DOI：10.1007/s00339-021-05166-5
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Kao
上传了
应助文件
13秒前
Copyright
上传了
应助文件
19秒前
hoonie
完成签到，获得积分
10
26秒前
Kao
上传了
应助文件
38秒前
老妖怪
完成签到，获得积分
10
42秒前
科研通AI2S
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
46秒前
李爱国
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
46秒前
苗条的傲安
完成签到，获得积分
10
46秒前
科研通管家
关闭了
Bin
的
文献求助
47秒前
Kao
上传了
应助文件
56秒前
慕青
的
应助
被
Fein_W
采纳，获得
10
58秒前
Scout
发布了新的
文献求助
100
1分钟前
慕青
上传了
应助文件
1分钟前
Kao
上传了
应助文件
1分钟前
Fein_W
发布了新的
文献求助
10
1分钟前
Fein_W
关闭了
Fein_W
的
文献求助
1分钟前
Scout
完成签到，获得积分
10
1分钟前
科研通AI6.4
的
应助
被
Puan
采纳，获得
30
1分钟前
负责的如萱
完成签到，获得积分
10
1分钟前
Puan
完成签到，获得积分
10
1分钟前
Kao
上传了
应助文件
1分钟前
小豹子
完成签到，获得积分
10
1分钟前
迅速的柚子
完成签到，获得积分
10
1分钟前
Feng
的
应助
被
小豹子
采纳，获得
10
2分钟前
Kao
上传了
应助文件
2分钟前
Kao
上传了
应助文件
2分钟前
Fein_W
发布了新的
文献求助
10
2分钟前
打打
的
应助
被
苗条的一一
采纳，获得
10
2分钟前
Kao
上传了
应助文件
2分钟前
科研通AI2S
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
2分钟前
科研通管家
关闭了
Winnie
的
文献求助
2分钟前
Copyright
上传了
应助文件
2分钟前
文静依萱
完成签到，获得积分
10
3分钟前
Fein_W
关闭了
Fein_W
的
文献求助
3分钟前
Kao
上传了
应助文件
3分钟前
Kao
上传了
应助文件
3分钟前
Kao
上传了
应助文件
3分钟前
Fein_W
发布了新的
文献求助
10
3分钟前
打打
上传了
应助文件
3分钟前
Kao
上传了
应助文件
3分钟前
高分求助中
Principles of Economics, 11th Edition
10000
University Physics with Modern Physics, 16th edition
10000
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Molecular Mechanisms of Photosynthesis, 4th Edition
1000
Organic Reactions, Volume 116
1000
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition
510
Social Skills Improvement System-Rating Scales--Chinese Version
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7252838
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
8875013
关于积分的说明
18734193
捐赠科研通
6933264
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3199778
关于科研通互助平台的介绍
2374554
邀请新用户注册赠送积分活动
2174456
今日热心研友
Kao
119
800
Copyright
131
180
Nole
73
560
GingerF
18
718
Criminology34
41
331
OK
1
350
VDC
330
Feng
20
70
ZhaohuaXie
14
100
Hayat
1
180
无极微光
5
148
嘻嘻哈哈
10
70
MchemG
10
70
yjh123
6
110
潇洒的惋清
140
SNing
120
学术文献互助
11
Fellow_Lee
100
初景
2
60
soilman
4
40
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
Copyright
Nole
GingerF
Criminology34
OK
VDC
Feng
ZhaohuaXie
Hayat
无极微光
嘻嘻哈哈
MchemG
yjh123
潇洒的惋清
SNing
学术文献互助
Fellow_Lee
初景
soilman
皖公网安备34019202002308
