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Improved TiN film as a diffusion barrier between copper and silicon

作者

Sa‐Kyun Rha,Won‐Jun Lee,Seung Yun Lee,Yong-Sup Hwang,Yoon-Jik Lee,Dong Il Kim,Dong‐Won Kim,Soung-Soon Chun,Chong-Ook Park

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：1998-05-01 卷期号：320 (1): 134-140 被引量：64

标识

DOI：10.1016/s0040-6090(97)01077-8

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