A review: Thermal processing in fast ramp furnaces

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作者
P.K. Roy,Sailesh M. Merchant,Sanjeev Kaushal
出处
期刊:Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
卷期号:30 (12): 1578-1583 被引量:5
标识
DOI:10.1007/s11664-001-0176-y
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