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Atomic layer deposition of AlN for thin membranes using trimethylaluminum and H2/N2 plasma

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作者
Sebastian Goerke,Mario Ziegler,Andreas Ihring,Jan Dellith,Andreas Undisz,Marco Diegel,S. Anders,Uwe Huebner,Markus Rettenmayr,Hans‐Georg Meyer
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:338: 35-41 被引量:37
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2015.02.119

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