The relationship between the Young’s modulus and dry etching rate of polydimethylsiloxane (PDMS)

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作者
Matthew L. Fitzgerald,Sara Tsai,Leon M. Bellan,Rebecca M. Sappington,Ya‐Qiong Xu,Deyu Li
出处
期刊:Biomedical Microdevices [Springer Nature]
卷期号:21 (1): 26-26 被引量:42
标识
DOI:10.1007/s10544-019-0379-8
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