Investigation on the crack fracture mode and edge quality in laser dicing of glass-anisotropic silicon double-layer wafer

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作者
Chunyang Zhao,Yecheng Cai,Ye Ding,Lijun Yang,Zhenlong Wang,Yang Wang
出处
期刊:Journal of Materials Processing Technology [Elsevier BV]
卷期号:275: 116356-116356 被引量:13
标识
DOI:10.1016/j.jmatprotec.2019.116356
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